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“唉!”张主任听后长叹口气,“这么久的努力,原来都是做了无用功啊!”
顾律在一旁看着长吁短叹的两人,犹豫了一下开口问道,“张主任,你们是遇到了什么难题了吗?”
张主任没有隐瞒。
“准确的说,不是我们研究所遇到了什么难题,而是整个宽禁带半导体领域都遇到了一个难题。”
张主任开始为顾律讲述起这个难题的详细情况。
在目前的半导体领域,掺杂调控是氮化物半导体材料和器件发展的关键科学和技术问题。
通过C掺杂获得半绝缘GaN是当前研制GaN基电子器件的主流方法。
但作为IV族元素,C杂质在GaN中具有两性特征,既可替代N原子,也可替代Ga原子,或者与其他杂质和缺陷形成复合体,使GaN中C的掺杂机理非常复杂,成为近年来氮化物半导体电子材料和器件领域关注的焦点问题之一。
所以说,确定C杂质在GaN中的晶格位置是一个相当亟待解决的难题。
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